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全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
全自動槽式清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)和光伏領(lǐng)域里的CMP后清洗工藝。清洗機(jī)可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術(shù)可將附著在晶圓表面的細(xì)微顆粒污染物去除，實(shí)現(xiàn)高效去除。可提供多個(gè)槽體進(jìn)行化學(xué)藥液或純水，結(jié)合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
全自動槽式清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)和光伏領(lǐng)域里的CMP后清洗工藝。清洗機(jī)可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術(shù)可將附著在晶圓表面的細(xì)微顆粒污染物去除，實(shí)現(xiàn)高效去除。可提供多個(gè)槽體進(jìn)行化學(xué)藥液或純水，結(jié)合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機(jī)的特點(diǎn)與用途
全自動槽式清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)和光伏領(lǐng)域里的CMP后清洗工藝。清洗機(jī)可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術(shù)可將附著在晶圓表面的細(xì)微顆粒污染物去除，實(shí)現(xiàn)高效去除。可提供多個(gè)槽體進(jìn)行化學(xué)藥液或純水，結(jié)合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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